Technologia rurociągów gazu o wysokiej czystości jest ważną częścią systemu zasilania gazem o wysokiej czystości, która jest kluczową technologią dostarczania wymaganego gazu o wysokiej czystości do punktu użytkowania i nadal utrzymuje kwalifikowaną jakość;Technologia rurociągów gazowych o wysokiej czystości obejmuje prawidłowy projekt systemu, dobór armatury i akcesoriów, konstrukcję i instalację oraz testy.W ostatnich latach coraz bardziej rygorystyczne wymagania dotyczące czystości i zawartości zanieczyszczeń w gazach o wysokiej czystości w produkcji produktów mikroelektronicznych reprezentowanych przez wielkoskalowe układy scalone sprawiły, że technologia rurociągów gazów o wysokiej czystości coraz bardziej dotyczy i podkreśla.Poniżej znajduje się krótki przegląd rurociągów gazowych o wysokiej czystości na podstawie doboru materiałówof budowy, a także odbioru i codziennego zarządzania.
Rodzaje popularnych gazów
Klasyfikacja gazów powszechnie występujących w przemyśle elektronicznym：
Powszechne gazy（Gaz luzem）: wodór (H2), azot (N2), tlen (O2), argon (A2) itp.
Gazy specjalnesą SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POKL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,WSPÓŁ,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… itd.
Rodzaje gazów specjalnych można ogólnie sklasyfikować jako żrącegaz, toksycznygaz, łatwopalnygaz, łatwopalnygaz, obojętnygazitp. Powszechnie stosowane gazy półprzewodnikowe są ogólnie klasyfikowane w następujący sposób.
(i) Żrący / toksycznygaz: HC1, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, kl2, BCl3…itp.
(ii) Łatwopalnośćgaz: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… itd.
(iii) palnośćgaz: O2, kl2, N2O, NF3… itd.
(iv) Obojętnygaz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, On… itd.
Wiele gazów półprzewodnikowych jest szkodliwych dla organizmu ludzkiego.W szczególności niektóre z tych gazów, takie jak SiH4 samozapłon, o ile wyciek gwałtownie zareaguje z tlenem w powietrzu i zacznie się palić;i AsH3wysoce toksyczne, każdy niewielki wyciek może spowodować zagrożenie życia ludzkiego, to właśnie z powodu tych oczywistych zagrożeń wymagania dotyczące bezpieczeństwa konstrukcji systemu są szczególnie wysokie.
Zakres zastosowania gazów
Jako ważny podstawowy surowiec współczesnego przemysłu, produkty gazowe są szeroko stosowane, a duża liczba gazów pospolitych lub gazów specjalnych jest wykorzystywana w hutnictwie, stali, przemyśle naftowym, chemicznym, maszynowym, elektronicznym, szkle, ceramice, materiałach budowlanych, budownictwie , przetwórstwo spożywcze, medycyna i medycyna.Zastosowanie gazu ma istotny wpływ na zaawansowanie techniczne zwłaszcza tych dziedzin i jest jego nieodzownym surowcem gazowym lub gazem procesowym.Tylko dzięki potrzebom i promocji różnych nowych gałęzi przemysłu oraz nowoczesnej nauki i techniki produkty przemysłu gazowniczego mogą być skokowo rozwijane pod względem różnorodności, jakości i ilości.
Zastosowanie gazów w przemyśle mikroelektronicznym i półprzewodnikowym
Wykorzystanie gazu zawsze odgrywało ważną rolę w procesie półprzewodnikowym, zwłaszcza proces półprzewodnikowy był szeroko stosowany w różnych gałęziach przemysłu, od tradycyjnego ULSI, TFT-LCD po obecny przemysł mikroelektromechaniczny (MEMS), wszystkie z które wykorzystują tak zwany proces półprzewodnikowy jako proces wytwarzania produktów.Czystość gazu ma decydujący wpływ na wydajność komponentów i uzysk produktu, a bezpieczeństwo dostaw gazu jest związane ze zdrowiem personelu i bezpieczeństwem pracy instalacji.
Znaczenie rurociągów o wysokiej czystości w transporcie gazu o wysokiej czystości
W procesie topienia i wytwarzania materiału ze stali nierdzewnej około 200 g gazu może zostać wchłonięte na tonę.Po obróbce stali nierdzewnej nie tylko jej powierzchnia jest lepka z różnymi zanieczyszczeniami, ale także w metalowej siatce wchłonęła pewną ilość gazu.Gdy przez rurociąg przepływa powietrze, metal pochłania tę część gazu, która ponownie wejdzie do strumienia powietrza, zanieczyszczając czysty gaz.Gdy przepływ powietrza w rurze jest przepływem nieciągłym, rura adsorbuje gaz pod ciśnieniem, a gdy przepływ powietrza przestaje przepływać, gaz zaadsorbowany przez rurkę tworzy spadek ciśnienia w celu rozdzielenia, a rozdzielony gaz również wchodzi do czystego gazu w rurze jako zanieczyszczenia.W tym samym czasie adsorpcja i rozdzielczość są powtarzane, tak że metal na wewnętrznej powierzchni rury również wytwarza pewną ilość proszku, a cząstki pyłu metalicznego również zanieczyszczają czysty gaz wewnątrz rury.Ta charakterystyka rury jest niezbędna do zapewnienia czystości transportowanego gazu, co wymaga nie tylko bardzo dużej gładkości wewnętrznej powierzchni rury, ale także dużej odporności na zużycie.
Gdy używany jest gaz o silnych właściwościach korozyjnych, do rurociągów należy stosować rury ze stali nierdzewnej odpornej na korozję.W przeciwnym razie rura będzie wytwarzać plamy korozji na wewnętrznej powierzchni z powodu korozji, aw poważnych przypadkach pojawi się duży obszar zdzierania metalu lub nawet perforacji, które zanieczyszczą rozprowadzany czysty gaz.
Połączenie gazociągów przesyłowych i dystrybucyjnych o wysokiej czystości i wysokiej czystości o dużych przepływach.
W zasadzie wszystkie z nich są spawane, a zastosowane rury nie mogą ulegać zmianom organizacyjnym podczas spawania.Materiały o zbyt dużej zawartości węgla podczas spawania podlegają przepuszczalności powietrza spawanych elementów, co powoduje wzajemne przenikanie gazów wewnątrz i na zewnątrz rury i niszczy czystość, suchość i czystość przesyłanego gazu, powodując utratę wszystkie nasze wysiłki.
Podsumowując, w przypadku rurociągów przesyłowych gazu o wysokiej czystości i gazu specjalnego konieczne jest zastosowanie specjalnej obróbki rur ze stali nierdzewnej o wysokiej czystości, aby system rurociągów o wysokiej czystości (w tym rury, złączki, zawory, VMB, VMP) w dystrybucja gazu o wysokiej czystości pełni ważną rolę.
Ogólna koncepcja czystej technologii rurociągów przesyłowych i dystrybucyjnych
Wysoce czysty i czysty przesył gazu za pomocą orurowania oznacza, że istnieją pewne wymagania lub kontrole dotyczące trzech aspektów przesyłanego gazu.
Czystość gazu: Zawartość atmosfery nieczystości w gCzystość gazu: Zawartość atmosfery nieczystości w gazie, zwykle wyrażana jako procent czystości gazu, np. 99,9999%, również wyrażana jako stosunek objętości do zawartości atmosfery zanieczyszczeń ppm, ppt.
Suchość: ilość śladowej wilgoci w gazie lub ilość zwana wilgotnością, zwykle wyrażana jako punkt rosy, na przykład punkt rosy pod ciśnieniem atmosferycznym -70.C.
Czystość: liczba cząstek zanieczyszczeń zawartych w gazie, wielkość cząstek w µm, ile cząstek/M3 wyrazić, dla sprężonego powietrza, zwykle również wyrażona w postaci ilości mg/m3 nieuniknionych pozostałości stałych, które pokrywają zawartość oleju .
Klasyfikacja wielkości zanieczyszczeń: cząstki zanieczyszczeń, odnoszą się głównie do szorowania rurociągów, zużycia, korozji generowanej przez cząstki metalu, cząstki sadzy atmosferycznej, a także mikroorganizmy, fagi i kropelki kondensacji gazu zawierające wilgoć itp., W zależności od wielkości jego wielkości cząstek jest podzielone na
a) Cząsteczki duże – wielkość cząstek powyżej 5μm
b) Cząstka – materiał o średnicy od 0,1 μm do 5 μm
c) Cząsteczki ultramikro – wielkość cząstek poniżej 0,1 μm.
Aby usprawnić stosowanie tej technologii, aby móc percepcyjnie zrozumieć rozmiar cząstek i jednostki μm, w celach informacyjnych udostępniono zestaw określonych statusów cząstek
Poniżej znajduje się porównanie poszczególnych cząstek
| Nazwa / Wielkość cząstek (µm) | Nazwa / Wielkość cząstek (µm) | Nazwa/ Wielkość cząstek (µm) |
| Wirus 0.003-0.0 | Aerozol 0,03-1 | Mikrokrople w aerozolu 1-12 |
| Paliwo jądrowe 0,01-0,1 | Farba 0,1-6 | Popiół lotny 1-200 |
| Sadza 0,01-0,3 | Mleko w proszku 0,1-10 | Pestycyd 5-10 |
| Żywica 0,01-1 | Bakterie 0,3-30 | Pył cementowy 5-100 |
| Dym papierosowy 0,01-1 | Pył piaskowy 0,5-5 | Pyłek 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pestycyd 0,5-10 | Włosy ludzkie 50-120 |
| Sól krystalizowana 0,03-0,5 | Skoncentrowany pył siarki 1-11 | Piasek morski 100-1200 |
Czas postu: 14 czerwca 2022 r