Technologia rur gazowych o dużej czystości jest ważną częścią systemu dostaw gazu o dużej czystości, który jest kluczową technologią dostarczania wymaganego gazu o dużej czystości do punktu użytkowania i nadal utrzymania kwalifikowanej jakości; Technologia rur gazowych o dużej czystości obejmuje prawidłową konstrukcję systemu, wybór wyposażenia i akcesoriów, konstrukcję i instalację oraz testowanie. W ostatnich latach coraz bardziej ścisłe wymagania dotyczące czystości i zanieczyszczeń gazów o dużej czystości w produkcji produktów mikroelektroniki reprezentowanych przez na dużą skalę zintegrowane obwody sprawiły, że technologia rurowe gazów o dużej czystości stały się coraz bardziej zainteresowane i podkreślone. Poniżej znajduje się krótki przegląd rur gazowych o dużej czystości po wyborze materiałówof Budowa, a także akceptacja i codzienne zarządzanie.
Rodzaje wspólnych gazów
Klasyfikacja wspólnych gazów w branży elektronicznej：
Wspólne gazy（Gaz luzem）: wodór (h2), azot (n2), tlen (o2), Argon (a2) itp.
Gazy specjalnesą sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, Bcl3 ,SIF4 ,Clf3 ,WSPÓŁ,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… itd.
Rodzaje specjalnych gazów można ogólnie zaklasyfikować jako korozyjnegaz, toksycznegaz, łatwopalnegaz, Palalnegaz, obojętnegaz, itp. Powszechnie stosowane gazowe półprzewodnikowe są ogólnie klasyfikowane w następujący sposób.
(i) żrące / toksycznegaz: HCL, BF3, Wf6, HBR, sih2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3…itp.
(ii) Płodnośćgaz: H2, Rozdz4, Sih4, Ph3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, CO… itd.
(iii) Palinnośćgaz: O2, Cl2, N2O, nf3… Itd.
(iv) obojętnegaz: N2, Por4, C2F6, C4F8,SF6, Co2, NE, KR, on… itd.
Wiele gazów półprzewodników jest szkodliwych dla ludzkiego ciała. W szczególności niektóre z tych gazów, takie jak SIH4 Spontaniczne spalanie, o ile wyciek zareaguje gwałtownie z tlenem w powietrzu i zacznie się płoną; i popiół3Wysoce toksyczne, wszelkie niewielkie wycieki może powodować ryzyko życia ludzkiego, dzieje się tak z powodu tych oczywistych niebezpieczeństw, więc wymagania dotyczące bezpieczeństwa projektu systemu są szczególnie wysokie.
Zakres aplikacji gazów
Jako ważny podstawowy surowiec o nowoczesnym przemyśle, produkty gazowe są szeroko stosowane, a duża liczba wspólnych gazów lub specjalnych gazów jest stosowana w metalurgii, stali, naftowej, przemysłu chemicznym, maszyn, elektronice, szkła, ceramice, materiałach budowlanych, budownictwie, przetwarzaniu żywności, medycynie i sektorach medycznych. Zastosowanie gazu ma istotny wpływ na wysoką technologię tych pól w szczególności i jest jego niezbędnym gazem surowcowym lub gazem procesowym. Tylko w przypadku potrzeb i promocji różnych nowych sektorów przemysłowych oraz współczesnej nauki i technologii produkty przemysłu gazowego mogą być opracowywane przez Leaps i Bounds pod względem różnorodności, jakości i ilości.
Zastosowanie gazu w branży mikroelektroniki i półprzewodników
Zastosowanie gazu zawsze odgrywało ważną rolę w procesie półprzewodnikowym, zwłaszcza proces półprzewodnikowy był szeroko stosowany w różnych branżach, od tradycyjnego ULSI, TFT-LCD po obecny przemysł mikroelektromechaniczny (MEMS), z których wszystkie wykorzystują tak zwany proces półprzewodnikowy jako proces produkcji. Czystość gazu ma decydujący wpływ na wydajność komponentów i rentowności produktów, a bezpieczeństwo dostaw gazu jest związane ze zdrowiem personelu i bezpieczeństwem operacji zakładu.
Znaczenie rur o dużej czystości w transporcie gazowym o dużej czystości
W procesie topnienia i wytwarzania stali nierdzewnej można wchłonąć około 200 g gazu na tonę. Po przetworzeniu stali nierdzewnej, nie tylko jego lepka powierzchnia z różnymi zanieczyszczeniami, ale także w metalowej sieci również pochłaniając pewną ilość gazu. Gdy przepływ powietrza przez rurociąg metal pochłania tę część gazu ponownie wejdzie w przepływ powietrza, zanieczyszczając czysty gaz. Gdy przepływ powietrza w rurce jest nieciągły przepływ, rurka adsorbuje gaz pod ciśnieniem, a gdy przepływ powietrza przestaje przechodzić, gaz zaadsorbowany przez rurkę tworzy spadek ciśnienia, a rozdzielony gaz wchodzi również do czystego gazu w rurce jako zanieczyszczenia. Jednocześnie powtarzane są adsorpcja i rozdzielczość, tak że metal na wewnętrznej powierzchni rurki wytwarza również pewną ilość proszku, a cząsteczki metali pyłu również zanieczyszczają czysty gaz wewnątrz rurki. Ta charakterystyka rurki jest niezbędna, aby zapewnić czystość transportowanego gazu, który wymaga nie tylko bardzo wysokiej gładkości wewnętrznej powierzchni rurki, ale także wysokiej odporności na zużycie.
Gdy stosuje się gaz o silnej działalności korozyjnej, do rurociągów należy zastosować odporne na korozję rury ze stali nierdzewnej. W przeciwnym razie rura będzie wytwarzać plamy korozji na wewnętrznej powierzchni z powodu korozji, aw poważnych przypadkach pojawi się duży obszar usuwania metalu, a nawet perforacji, który zanieczyściłby czysty gaz do rozprowadzenia.
Połączenie rurociągów przesyłowych i dystrybucji o wysokiej czyszczenia i oczyszczania gazu o dużych prędkościach przepływu.
Zasadniczo wszystkie z nich są spawane, a zastosowane rury muszą nie mieć żadnej zmiany w organizacji po zastosowaniu spawania. Materiały o zbyt wysokiej zawartości węgla podlegają przepuszczalności powietrza spawanych części podczas spawania, co powoduje wzajemną penetrację gazów wewnątrz rury i na zewnątrz, i niszczy czystość, suchość i czystość przenoszonego gazu, co powoduje utratę wszystkich naszych wysiłków.
Podsumowując, w przypadku gazu gazowego o dużej czystości i specjalnej przesyłowej gazu, konieczne jest zastosowanie specjalnego oczyszczania rur ze stali nierdzewnej o wysokiej czystości, aby utworzyć system rurociągów o dużej czystości (w tym rury, złączki, zawory, VMB, VMP) w dystrybucji gazu o dużej czystości.
Ogólna koncepcja czystej technologii dla rurociągów transmisji i dystrybucji
Wysoce czysta i czysta transmisja nadwozia gazu z rurami oznacza, że istnieją pewne wymagania lub kontrole trzech aspektów gazu, które mają zostać przetransportowane.
Czystość gazu: zawartość atmosfery zanieczyszczenia w czystości GGAS: zawartość atmosfery zanieczyszczenia w gazie, zwykle wyrażona jako procent czystości gazu, taki jak 99,9999%, wyrażany również jako stosunek objętości zawartości atmosfery zanieczyszczenia PPM, PPB, PPT.
Suchość: ilość śladowej wilgoci w gazie lub ilość zwanej wilgocią, zwykle wyrażoną w kategoriach punktu rosy, takiego jak atmosferyczny punkt rosy -70. C.
Czystość: liczba cząstek zanieczyszczenia zawartych w gazie, wielkość cząstek µm, ile cząstek/m3 do wyrażania, dla sprężonego powietrza, zwykle wyrażone również w kategoriach mg/m3 nieuniknionych reszt stałych, co pokrywa zawartość oleju.
Klasyfikacja wielkości zanieczyszczeń: Cząstki zanieczyszczeń, głównie odnoszą się do szorowania rurociągu, zużycia, korozji wytwarzanej przez cząstki metalu, a atmosferyczne cząstki sadzy, a także mikroorganizmy, fagi i kropelki gazu zawierające wilgoć itp., Według wielkości wielkości cząstek są podzielone
a) Duże cząstki - wielkość cząstek powyżej 5 μm
B) Cząstka-średnica materiału między 0,1 μm-5 μm
C) Ultra-mikro cząsteczki-wielkość cząstek mniejsza niż 0,1 μm.
W celu zwiększenia zastosowania tej technologii, aby móc rozumieć wielkość cząstek i jednostek μM, w celu uzyskania odniesienia jest zestaw określonych statusu cząstek
Poniżej znajduje się porównanie określonych cząstek
| Nazwa /rozmiar cząstek (µm) | Nazwa /rozmiar cząstek (µm) | Nazwa/ rozmiar cząstek (µm) |
| Wirus 0,003-0.0 | Aerozol 0,03-1 | Aerozolizowana mikrodroplet 1-12 |
| Paliwo jądrowe 0,01-0.1 | Farba 0,1-6 | Popiół lotny 1-200 |
| SAIL Black 0,01-0.3 | Mleko proszek 0,1-10 | Pestycyd 5-10 |
| Żywica 0,01-1 | Bakterie 0,3-30 | Pył cementowy 5-100 |
| Dym papierosowy 0,01-1 | Pył piaskowy 0,5-5 | Pyłek 10-15 |
| Silikon 0,02-0.1 | Pestycyd 0,5-10 | Ludzkie włosy 50-120 |
| Krystalizowana sól 0,03-0,5 | Skoncentrowany kurz siarki 1-11 | Sea Sand 100-1200 |
Czas po: 14-2022