Zastosowanie gazów w branży półprzewodników sięga początków lat 50. do lat 50. XX wieku. Podczas procesu produkcji półprzewodników gazy są wykorzystywane głównie do czyszczenia i ochrony materiałów półprzewodnikowych w celu zapewnienia ich czystości i jakości. Wśród najczęściej stosowanych gazów są azot i wodór.
W miarę rozwoju technologii półprzewodników i procesów produkcyjnych wzrosło popyt na gaz. W 1970 r. Dalszy rozwój technologii produkcji półprzewodników, zastosowanie gazów w kluczowych procesach, takich jak trawienie i odkładanie cienkich warstw stopniowo wzrosło, a gazy fluorkowe (np. SF6) i tlenu stały się powszechnie stosowane gazy trawienia i osadzania. 1980 odnotowano dalszy wzrost popytu na gaz wraz z rozwojem obwodów zintegrowanych i wzrostem zapotrzebowania na nie. Wodór był szeroko stosowany w procesie produkcyjnym, w tym wyżarzanie wodoru i osadzanie pary wodoru. A od 1990 r. Do chwili obecnej popyt na gazy o dużej czystości i specyficzne gazy wzrosło wraz ze wzrostem rozmiarów urządzeń półprzewodnikowych i wprowadzono nowe procesy. Na przykład zastosowanie ekstremalnej litografii ultrafioletowej (EUV) wymaga zastosowania bardzo wysokiej czystości, takich jak azot i wodór.
Gaz półprzewodnikowy nadal rośnie wraz z rozwojem produktów powiązanych napędzanych coraz większą liczbą produktów, podczas gdy gaz należy również do źródła niebezpieczeństwa, więc produkty stosowane do dekompresji gazu, produkty wykrywania gazu i zapobieganie produktom wycieku gazu, takie jak regulatory ciśnieniowe, zawory gazowe, mierniki ciśnienia gazu, detektor wycieku gazu itp., A ich role są następujące:
Regulatory ciśnieniowe: Regulatory ciśnieniowe są urządzeniami używanymi do kontrolowania ciśnienia gazu. Zwykle składają się z zaworu regulatora i czujnika ciśnienia. Regulatory ciśnieniowe pobierają wejście gazu wysokociśnieniowego i stabilizują ciśnienie gazu wyjściowego, dostosowując zawór w celu spełnienia określonych wymagań dotyczących zastosowania. Regulatory ciśnieniowe są szeroko stosowane w obszarach takich jak przemysł, produkcja i laboratoria, a także w przemyśle półprzewodników, w celu zapewnienia stabilności i bezpieczeństwa dostaw gazu.
Zawory gazowe: Zawory gazowe są wykorzystywane do kontrolowania przepływu gazów i zamykania fragmentów gazu. Zwykle mają funkcję włączania/wyłączania, która otwiera lub zamyka przepływ gazu. Istnieją różne rodzaje zaworów gazowych, w tym zawory ręczne, zawory elektryczne i zawory pneumatyczne. Są one szeroko stosowane w systemach gazowych do kontrolowania przepływu, ciśnienia i szybkości przepływu gazów.
Wskaźniki ciśnienia gazu: Wskaźniki ciśnienia gazu są używane do pomiaru poziomu ciśnienia gazu. Zazwyczaj są one instalowane w krytycznych lokalizacjach w systemach gazowych w celu monitorowania zmian ciśnienia i upewnienia się, że znajdują się w bezpiecznych granicach. Wskaźniki ciśnienia gazowego są szeroko stosowane w branży, produkcji i laboratoriach, a także branża półprzewodników.
Detektory szczelności gazu: Detektory wycieków gazowych są wykorzystywane do wykrywania wycieków w systemach gazowych. WykrywająObecność wycieków gazu i alarmu, tak aby można było podjąć działanie terminowe, aby zapobiec wypadkom wycieku. Detektory wycieku gazu są szeroko stosowane w zastosowaniach przemysłowych, chemicznych, ropy i gazu, a także przemysł półprzewodnikowy.
Czas po: 20-2024 lutego