Różne chemikalia i gazy stosowane w produkcji półprzewodników wymagają solidnych systemów płynów w celu nieprzerwanego dostawy na każdym etapie produkcji. Te systemy płynów muszą być w stanie obsługiwać ekstremalne warunki procesu wymagane do produkcji półprzewodników, zapewniając jednocześnie czyste, bezkształcone i kontrolowane proces. Dlatego wybór składników układu płynnego ma kluczowe znaczenie w procesie produkcji półprzewodników precyzyjnych.
Wybór wysokiej jakości komponentów systemu płynów jest synonimem zwiększonej wydajności produkcyjnej i skróconym przestojom systemu. W odniesieniu do procesu produkcji półprzewodników omówimy kluczową rolę komponentów układu płynnego i znaczenie ich niezawodności.
Znaczenie komponentów układu płynnego w produkcji półprzewodników
Składniki układu płynnego w produkcji półprzewodników obejmują różne systemy mieszania chemicznego, przekazywania i sterowania do bezpiecznego transportu płynów chemicznych w kontrolowanym środowisku. Idealny układ płyny ma:
➢ Jednolite mieszanie chemiczne
➢ Kontrola kontaminacji
➢ Temperatura i kontrola ciśnienia
➢ Buntinterproweded Chemical Supply
Tylko komponenty najwyższej jakości mogą zapewnić tak idealne warunki w systemie płynów półprzewodnikowych. Zalety korzystania z takich komponentów obejmują:
Dokładne: komponenty, takie jak zawory, regulatory i pompy działają w tandemie, aby zapewnić, że prawidłowy odsetek chemikaliów jest dostarczany do komórki produkcyjnej. Dokładne dane wejściowe eliminują ryzyko zmian przepływu, co poprawia jakość produktu końcowego.
Kompatybilność i czystość: Składniki układu płynnego z kompozycjami materiałowymi kompatybilnymi z płynami procesowymi zmniejszają ryzyko zanieczyszczenia. Ponadto bezpłatna instalacja tych komponentów układu płynnego zmniejsza zanieczyszczenia cząstek stałych, zapewniając czyste i kontrolowane środowisko produkcyjne w celu uzyskania lepszych plonów.
Bezpieczeństwo: Gazy i chemikalia stosowane w produkcji półprzewodników mogą być szkodliwe dla zdrowia ludzkiego. Jednak komponenty układu płynnego zaprojektowane w celu zapobiegania wyciekom i wyciekom mogą dostarczać te płyny do jednostek produkcyjnych w bezpieczny i kontrolowany sposób.
Wydajność: Bezkluczowa konstrukcja i precyzyjna kontrola wysokiej jakości komponentów układu płynnego minimalizuje przestoje operacyjne i częste wymagania konserwacyjne, promując płynną, wydajną produkcję w celu osiągnięcia celów produkcyjnych.
Wysokiej jakości roztwory komponentów układu płynnego
Komponenty systemu płynów wymagają wysokiej jakości instalacji, aby sprostać wyzwaniom produkcji półprzewodnikowej. Kluczowe elementy, które wpływają na FAB, obejmują:
Zawory: zawory o wysokiej wydajności, takie jak przepona, mieszki lub zawory igły, idealnie regulują przepływ płynów w placówkach produkcyjnych. Trwałe, wysokiej jakości zawory zapewniają precyzję i kontrolę potrzebną do poprawy wydajności procesów produkcyjnych i obsługi dla krytycznej produkcji półprzewodników.
Złącze: Układy o wysokiej czystości do systemów rur i węża oraz innych krytycznych elementów zapewniają zamknięte połączenia w celu zwiększenia bezpieczeństwa i czystości komponentów układu płynnego.
Węże: W przypadku precyzyjnych wymagań produkcyjnych izolowane węże pomagają w zarządzaniu termicznym, aby warunki procesu w pomieszczeniu produkcyjnym mogły być optymalnie utrzymane. Jest to ważne, ponieważ najmniejsze wahania temperatury mogą uszkodzić układy i prowadzić do odpadów produkcyjnych.
Elastyczne rurki: W przypadku, gdy warunki pozwalają, można zastosować elastyczne rurki do zmniejszenia liczby złączek w zespole układu płynnego. Rurka jest wygięta w celu uzyskania pożądanej ścieżki płynu. Mniej liter oznacza mniejsze ryzyko wycieków i uszkodzeń z powodu wibracji i ruchu.
Regulatory: regulatory skutecznie kontrolują presję na każdym etapie procesu produkcji półprzewodników. Stały i dokładny przepływ osiąga spójne, wysokiej jakości plony, unikając zmarnowanych chemikaliów i materiałów specjalnych.
Filtry: Pojedyncza cząstka może wpływać na wydajność półprzewodników. Zastosowanie ultra-wysokiej czystości filtrów eliminuje zanieczyszczenie cząstek i minimalizuje uszkodzenie układów.
Wymisowe systemy płynów w produkcji półprzewodników można osiągnąć dzięki szerokiej gamie wysokiej jakości zaworów, złączek, regulacji, węży i filtrów AFK-LOK.
Czas po: 09-2023