Sprzęt do oczyszczania gazu ogonowego może obsługiwać gazy stosowane w procesach trawienia i procesach osadzania pary chemicznej w przemyśle półprzewodnikowym, ciekłym krysztale i energii słonecznej, w tym SIH4, SIH2CL2, pH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O i tak dalej.
Metoda obróbki gazu spalinowego
Zgodnie z cechami leczenia spalinowego leczenie można podzielić na cztery rodzaje leczenia:
1. Rodzaj mycia wody (obróbka gazów korozyjnych)
2
3. Adsorpcja (zgodnie z rodzajem materiału adsorpcji, aby poradzić sobie z odpowiednim gazem spalin).
4. Typ spalania Plasma (wszystkie rodzaje gazów spalin można leczyć).
Każdy rodzaj leczenia ma swoje zalety i wady, a także zakres zastosowania. Gdy metoda oczyszczania polega na myciu wody, sprzęt jest tani i prosty i może poradzić sobie tylko z gazami rozpuszczalnymi w wodzie; Zakres zastosowania elektrycznego typu mycia wody jest wyższy niż w przypadku mycia wody, ale koszt pracy jest wysoki; Typ suchego ma dobrą wydajność oczyszczania i nie ma zastosowania do przepływu gazu, który jest łatwy do zatkania lub przepływu.
Chemikalia i ich produkty uboczne powszechnie stosowane w przemyśle półprzewodników można podzielić na ich właściwości chemiczne i różne zakresy:
1. Gazy łatwopalne, takie jak SIH4H2 itp.
2. Gazy toksyczne, takie jak ASH3, PH3 itp.
3. Gazy korozyjne, takie jak HF, HCL itp.
4. Gazy cieplarniane, takie jak CF4, NF3 itp.
Ponieważ powyższe cztery gazy są szkodliwe dla środowiska lub ciała ludzkiego, muszą zapobiec jego bezpośredniej emisji do atmosfery, więc ogólna instalacja półprzewodników jest instalowana z dużym scentralizowanym systemem oczyszczania gazu spalinowego, ale system ten jest jedynie spalinem do szorowania wody, więc jego zastosowanie jest ograniczone do długotrwałych gazów rozpuszczalnych w wodzie i nie może poradzić sobie z przełomowym i subtelnym podziałem procesu. Dlatego konieczne jest wybranie i dopasowanie odpowiedniego sprzętu do oczyszczania gazu spalinowego zgodnie z charakterystyką gazu pochodzącą z każdego procesu w celu niewielkiego rozwiązania problemu spalin. Ponieważ obszar roboczy jest głównie z dala od centralnego układu oczyszczania gazu spalinowego, często ze względu na charakterystykę gazu prowadzi do krystalizacji lub akumulacji pyłu w rurociągu, co powoduje zatykanie rurociągu prowadzącego do wycieku gazu, a w poważnych przypadkach nawet powoduje eksplozję, nie może zapewnić bezpieczeństwa pracy personelu witryny. Dlatego w obszarze roboczym musi skonfigurować mały sprzęt do oczyszczania gazu spalinowego odpowiedni dla charakterystyki gazu procesowego, aby zmniejszyć stagnację spalin w obszarze roboczym, aby zapewnić bezpieczeństwo personelu.
Czas po: 10 sierpnia 2013 r