1 | Maksymalne ciśnienie robocze 20,6 MPa. |
2 | Maks.temperatura pracy 204 ℃ (Środowisko o wysokiej temperaturze do 454 ℃, w tym czasie materiał uszczelniający jest zastępowany grafitem ekspandowanym) |
3 | System filtrów Zanieczyszczenia pyłowe, gazy, ciecze mają zastosowanie. |
4 | Dokładność filtra spiekanego z metalurgii proszków ze stali nierdzewnej 2 μm ~ 40 μm |
5 | Przepływ filtra 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.rocznie |
6 | Filtr można zmienić. |
Cechy produktu Filtr
1 | Szeroki zakres zastosowań, zakres przepływu od 15 do 300SL/min. |
2 | Ma dobrą kompatybilność z większością półprzewodnikowych gazów procesowych o wysokiej czystości. |
3 | 3 zdolność filtracji nanocząstek utrzymuje wysoką wydajność przepływu i bardzo mały spadek ciśnienia. |
4 | Elektropolerowana powierzchnia 5Ra może zapobiegać wewnętrznemu zanieczyszczeniu. |
5 | Piec z gorącym azotem po dejonizowanej wodzie, aby spełnić standardy procesu półprzewodnikowego. |
6 | Bezpyłowe, aseptyczne środowisko produkcji, czyszczenia i pakowania w warsztacie o poziomie 1000. |
7 | Test na 100% wycieku helu. |
Wlot | Wylot | |
1 | Złącze rurowe 1/8″ | Złącze rurowe 1/8″ |
2 | Złącze rurowe 1/4″ | Złącze rurowe 1/4″ |
3 | Złącze rurowe 3/8″ | Złącze rurowe 3/8″ |
4 | Złącze rurowe 1/2″ | Złącze rurowe 1/2″ |
5 | Mocowanie rurki 6mm | Mocowanie rurki 6mm |
6 | Mocowanie rurki 8mm | Mocowanie rurki 8mm |
7 | Mocowanie rurki 10mm | Mocowanie rurki 10mm |
8 | Mocowanie rurki 12mm | Mocowanie rurki 12mm |
9 | 1/8″ żeński NPT | 1/8″ żeński NPT |
10 | 1/4″ żeński NPT | 1/4″ żeński NPT |
11 | 1/4″ Męski NPT | 1/4″ Męski NPT |
12 | 3/8″ Męski NPT | 3/8″ Męski NPT |
13 | 1/2″ Męski NPT | 1/2″ Męski NPT |
Parametry wydajności produktu filtra
1 | Dokładność filtrowania | ≥0,0025μm | |
2 | Wydajność filtracji | Szybkość usuwania 99,99999% ≥0,0025 μm | |
3 | Przepływ znamionowy | 15 l/min | |
4 | 60 l/min | ||
5 | 120 l/min | ||
6 | 200 l/min | ||
7 | 300 l/min | ||
8 | Skład filtra | element filtra | 316L/PTFE |
9 | mieszkania | stal nierdzewna 316L | |
10 | Warunki pracy | Maksymalne ciśnienie wlotowe | 21 MPa (310 kgf/cm2) |
11 | Maksymalna różnica ciśnień | 15 MPa (153 kgf/cm2) | |
12 | Maksymalna temperatura pracy | 430 ℃ (gaz obojętny) | |
13 | Szybkość wycieku helu | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Wykończenie powierzchni | ≤Ra 5μin |